投影光刻機氣動隔振系統有哪些方式
1、設計方案絕對高度更低：與傳統氣缸對比，增壓器的投影光刻機氣動隔振系統并沒有液壓油缸。設計方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對高度？使結構更緊密。
2、無電源適配器的好姿態：工業設備氣襄扭力彈簧的偏斜角度做到30°，便捷設計師設計方案連接組織計劃方案。（注：假如設施的規格型號和規格不一樣，允許的俯仰角也不一樣。）
3、型號挑選低成本：與傳統氣缸對比彈簧，氣體增壓器彈簧不僅低成本，而且使用年限長，免維護保養空氣彈簧減震器哪里好，成本費可控性。
4、無摩擦免維修保養：即便在嚴酷的應用情況下彈簧，彈簧也可以正常的工作中。由于打氣筒內并沒有互相摩擦的構件（液壓密封件），因此即便在有許多灰塵、微小顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。
5、聯系實際出色的疲倦緩解：氣囊彈簧在動態性情況下也十分耐疲倦，由于這類氣囊用以各式各樣化工品的生產制造普遍的運用和檢測，即使他們是不容易受天氣和外部環境的危害。即便承載力大，工業設備仍能維持較長的使用年限。
6、氣體增壓器投影光刻機氣動隔振系統的氣軸抗壓強度可達30mm，在該地區工作時可始終保持。與氣缸或液壓油缸不一樣，氣缸不容易紙卡或損壞液壓密封件，都不應用易受灰塵與別的碎渣損害的滾桶。
7、便于組裝：當不除灰時，氣囊投影光刻機氣動隔振系統組裝快速輕輕松松，省時省力、時間精力和成本費。除此之外，該元器件具有較好的延展性，能夠賠付細微的偏差。
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